<p class="ql-block">幾年前看過一位愛國學者的文章。八十年代他去美國參加關于計算機集成電路方面的展銷會，整個會場轉下來，他的眼中留下痛淚……他發(fā)現(xiàn)曾經(jīng)領先世界的中國芯片銷聲匿跡再也看不見了，他在文章中寫到：七十年代中國的集成電路，芯片，光刻機，計算機不輸西方，在西方是有一席之地的?？匆娺@篇文章非常震驚，有些不信去查資料。結果發(fā)現(xiàn)1977年人民日報報道：中國光刻機研制成功，投入使用。</p> <p class="ql-block">1977年之前中國光刻機已經(jīng)研制成功。</p> <p class="ql-block"><span style="font-size:18px;">七十年代中國已有自主產(chǎn)權的計算機，</span>第一臺每秒鐘運算一百萬次的集成電路電子計算機的試制成功，是北京大學、北京有限電廠和燃化部有關單位，貫徹執(zhí)行毛主席的關于教育革命的指示，堅持生產(chǎn)、使用、科研三結合，廣泛開展社會主義大協(xié)作，大搞群眾運動的豐碩成果。</p><p class="ql-block">圖為計算機及各種配套的“外部設備”協(xié)同工作的情況。</p> <p class="ql-block">中美芯片之爭弄得沸沸，中國被美和西方卡脖子的梗中國人都知道。但是很多國人并不太了解芯片和光刻機之間的關系。那就先來談談光刻機吧。在芯片制造漫長的產(chǎn)業(yè)鏈中，光刻機是最為耀眼的明珠，它代表了人類科技發(fā)展的頂級水平（另一個是航空發(fā)動機），它是芯片制造中必不可少的精密設備。做芯片缺了光刻機就相當于被人掐住了脖子。 </p><p class="ql-block">1952年，二戰(zhàn)的硝煙剛剛散去，中國開啟了計算機事業(yè)，國家成立電子計算機科研小組，由數(shù)學研究所所長華羅庚負責。華羅庚是中國著名科學家，也是享譽世界著名科學家。他是中國解析數(shù)論、矩陣幾何學、典型群、自守函數(shù)論與多元復變函數(shù)論等多方面研究的創(chuàng)始人和開拓者，并被列為芝加哥科學技術博物館中當今世界88位數(shù)學偉人之一。國際上以華氏命名的數(shù)學科研成果有“華氏定理”、“華氏不等式”、“華—王方法”等。這是華羅庚簡介中最閃光的一部分。1956年，我國第一只晶體三極管誕生，自此與發(fā)達國家一樣，中國也進入半導體新紀元。此時距離貝爾實驗室研發(fā)的世界上第一只點接觸三極管已經(jīng)過去了9年。</p><p class="ql-block">1958年我國第一枚鍺晶體管試制成功。</p><p class="ql-block">我國第一個集成電路研制課題組成立。</p><p class="ql-block">我國第一代硅平面晶體管問世。</p><p class="ql-block">我國第一塊集成電路在北京、石家莊和上海等地相繼問世。其中包括中國科學院半導體研究所、河北半導體研究所（簡稱13所）、北京市無線電技術研究所（簡稱沙河器件所）等。</p><p class="ql-block">劃重點，在1962年，我國出現(xiàn)了硅平面晶體管。何為平面晶體管？</p><p class="ql-block">據(jù)百度百科資料：“采用平面工藝制作的晶體管，就叫做平面晶體管?！倍@所謂的平面工藝，主要就是利用光刻技術和二氧化硅膜的掩蔽作用來進行選擇擴散和電極的蒸發(fā)。而對比上文可知，我國1965年第一塊集成電路誕生，可以大膽推測，我國利用光刻技術制造集成電路芯片的時間，差不多處于1965年前后。</p><p class="ql-block">1977年，我國最早的光刻機-GK-3型半自動光刻機誕生，這是一臺接觸式光刻機（就目前所能得到的資料而言）。資料如圖所示：</p> <p class="ql-block">GK-3光刻機</p><p class="ql-block">1978年，1445所在GK-3的基礎上開發(fā)了GK-4，把加工圓片直徑從50毫米提高到75毫米。</p> <p class="ql-block">通過查閱《光電工程》1981年第05期期刊得知，同一年，中國科學院半導體所開始研制JK-1型半自動接近式光刻機，并在1981年研制成功兩臺樣機。</p> <p class="ql-block">1982年科學院109廠的KHA-75-1光刻機，這些光刻機在當時的水平均不低，最保守估計跟當時最先進的canon相比最多也就不到4年，而且從jkg系列至今仍再銷售的情況來看，都具有不錯的使用價值。</p><p class="ql-block">1985年，機電部45所研制出了分步光刻機樣機，通過電子部技術鑒定，認為達到美國4800DSW的水平。如果資料沒有錯誤，這應當是中國第一臺分步投影式光刻機，采用的是436納米G線光源。按照這個時間節(jié)點算，中國在分步光刻機上與國外的差距不超過7年（美國是1978年）。</p><p class="ql-block">時間捋到這里，我們再來回顧一下五十年代-八十年代整個中國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。五十年代開了個好頭，到六七十年代的時候，中國大陸的電子工業(yè)、半導體工業(yè)僅次于美國，領先于韓、臺、日。1979年上海元件五廠和無線電十四廠甚至成功仿制英特爾公司1974年推出的8080CPU，比德國仿制成功還早一年。</p> <p class="ql-block">國產(chǎn)仿制CPU</p><p class="ql-block">1972年，武漢無線電元件三廠編寫的《光刻掩模版的制造》32開66頁。中國芯片光刻工藝研究起步，比美國稍晚，和日本差不多同時起步，比韓國、臺灣早十年。</p><p class="ql-block">1965年中國科學院研制出65型接觸式光刻機。1970年代中國科學院開始研制計算機輔助光刻掩模工藝。</p><p class="ql-block">清華大學研制第四代分步式投影光刻機，并在1980年獲得成功，光刻精度達到3微米，接近國際主流水平，那時光刻機巨頭ASML還沒誕生。 </p><p class="ql-block"> 一切都向著美好的方向發(fā)展，老一輩革命者和建造者奉獻自己的青春，造就了中國的半導體產(chǎn)業(yè)，很多資料顯示，當時中國的半導體產(chǎn)業(yè)雖然沒有超越當時世界最先水平，但是差距并不大。更重要的是，打造了從單晶制備、設備制造、集成電路制造的全產(chǎn)業(yè)鏈，基本不依賴國外進口，也就是說，中國以一國的供應鏈去追趕整個西方發(fā)達國家聯(lián)盟的供應鏈。要知道，當時英特爾也是用的日本的光刻機。</p> <p class="ql-block">物似人非，時光飛逝到以夢為馬的八十年代 ，在造不如買，買不如租的思潮下，1976年就研制出芯片的武漢無線電子元件三廠被強制下馬，改生產(chǎn)塑料盆，1994年武漢無線電元件三廠破產(chǎn)改制賣副食品去了。同時被下馬的還有已經(jīng)飛上藍天的毛中國時代擁有自主知識產(chǎn)權的運十大飛機。</p> <p class="ql-block">中國近代百年，最懂工業(yè)是毛主席！!從1840年鴉片戰(zhàn)爭到1949年建國，中國沒有任何現(xiàn)代化工業(yè)。</p><p class="ql-block">毛主席時代，1949年開始，中國首先建立了大量的礦山，然后是鋼鐵廠，再以后是機械廠。當機械工業(yè)初具規(guī)模后，你才可以生產(chǎn)車床制造各種車間。這時你才可以建立各種輕紡廠、自行車廠、電視機廠等等，以改善人民的生活。二彈，衛(wèi)星等才能研制成功。美國政客說，毛澤東用二十多么年時間走完了西方需要三百年時間才能走完的工業(yè)化道路。</p> <p class="ql-block">這是一張無比珍貴的歷史照片——毛主席舉起一支國產(chǎn)五六式半自動步槍做瞄準狀。之所以珍貴，是因為指揮過千軍萬馬的毛主席平生很少摸槍，這是他唯一一張拿槍的照片，體現(xiàn)了共和國領袖對大比武活動的關懷和勉勵。</p>